经过了起始阶段、输运阶段、附着阶段、老化阶段和剥蚀阶段，是一个多重动态的过程。超声波除垢机理主要是运用空化效应、机械效应、剪切效应、活化效应和抑制效应将流体中积垢的物质进行粉碎，分散成为粉末状。